減速機是由齒輪傳動的，那么在行星齒輪減速機工作的時候，內部零件摩擦的時候，就會出現減速機出氣的現象，怎樣去解決減速機出氣的問題呢？

    部分減速機不能直接去排氣，如直排氣會構成減速機吸氣口與排氣口壓差太大，使其過載，為了可以達到更高的真空度，要保證減速機在開放的空間中。

    運轉時要設有前級泵，用前級泵將系統內壓力吸至一定范圍內時再啟動減速機，可以避免減速機出現過載現象，前級泵可以選用水環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。

    由于行星減速機的轉子不斷翻轉，被吸氣體從進氣口吸入轉子與泵殼之間的空間，然后通過排氣口排出。吸氣后空間完全關閉，泵腔內的氣體不會收縮膨脹，但當轉子頂部通過排氣口邊緣，空間與排氣側相連時，由于排氣側的氣體壓力較高，部分氣體會回流到空間，氣體壓力會突然升高。隨著轉子的不斷轉換，氣體排出泵。